通过进一步优化纳米氧化铝的制备工艺，提高其纯度和球形度，开发与碳化硅材料更适配的化学试剂配方，实现化学腐蚀与机械研磨的精准协同，有望进一步提升碳化硅晶圆的抛光质量和效率。 抛光液中的球形纳米氧化铝作为实现第三…