通过进一步优化纳米氧化铝的制备工艺，提高其纯度和球形度，开发与碳化硅材料更适配的化学试剂配方，实现化学腐蚀与机械研磨的精准协同，有望进一步提升碳化硅晶圆的抛光质量和效率。 抛光液中的球形纳米氧化铝作为实现第三…

沉浸1-3分钟后，待铜件的表面形成一层棕色透亮的氧化膜后，将工件从抛光液中取出，漂水冲洗，抛光工艺完成，作用于清洗掉表面多余的抛光液。把清洗干净的工件放入调配好的抛光液中，浸泡时间大约8~15S左右即可，至表…

铜材化学抛光液是一种利用化学反应原理，通过化学药剂的作用使铜材表面氧化膜溶解，同时使金属表面形成一层致密的氧化膜，从而达到抛光效果的处理液使用铜化学抛光剂CY-503使用方法：将配置好的抛光液加温至45~50…