• 方法:通常使用特定的化学溶液,这些溶液可以与金属离子形成络合物并将其溶解在溶液中。 方法:一般使用高纯度的去离子水进行多次冲洗,可能还会结合有机溶剂进行最后的清洗和干燥,以保证晶圆表面无残留的水渍和其他污染…
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