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肖特基
广微集成申请防止沟槽肖特基二极管晶圆背腐进酸专利,优化沟槽结构为蓝膜均匀覆盖提供基础
专利摘要显示,本发明公开了一种防止沟槽肖特基二极管晶圆背腐进酸的方法,包括以下步骤:采用多个梯形夹具间隔固定于晶圆的边缘环形区域,所述梯形夹具的底部朝向晶圆的光刻图形区域,使得梯形夹具与所述边缘环形区域接触…
进行
沟槽
广微
夹具
肖特基
fjmyhfvclm
27天前
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管子
电流
半导体
并联
肖特基
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控制
电感
转换器
肖特基
开关
fjmyhfvclm
3月前
83
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