埃马金申请用于OLED沉积的直接图案化沉积掩模专利,所述衬底的翘曲度优选地小于<10um

fjmyhfvclm2025-06-10  17

金融界2025年6月9日消息,国家知识产权局信息显示,埃马金公司申请一项名为“刚性蓝宝石基底的直接图案化沉积掩模”的专利,公开号CN120112671A,申请日期为2023年08月。

专利摘要显示,本公开提供一种用于OLED沉积的直接图案化沉积掩模,其中所述掩模包含:蓝宝石衬底;及氮化硅(SiN)膜片。蓝宝石衬底厚度可介于0.7mm与2mm之间。所述蓝宝石衬底的直径可在200mm直径到300mm直径的范围中。所述衬底的翘曲度优选地小于<10um。

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