三星电子计划投入约1.1万亿韩元引进两台最新的High-NA双级极紫外（EUV）光刻机。据业内人士透露，三星电子此前仅在京畿道园区引进过一台用于研发的High-NA EUV设备，此次引进的机器将用于“产品量产”。三星电子计划在年内引进一台，并在明年上半年再引进一台。 (韩国经济日报)
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三星电子计划投入约1.1万亿韩元引进两台最新的High-NA双级极紫外（EUV）光刻机。据业内人士透露，三星电子此前仅在京畿道园区引进过一台用于研发的High-NA EUV设备，此次引进的机器将用于“产品量产”。三星电子计划在年内引进一台，并在明年上半年再引进一台。 (韩国经济日报)
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