什么是透射电子显微镜?
️透射电子显微镜
️透射电子显微镜(简称透射电镜)是一种利用加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,通过电子与样品原子的碰撞产生立体角散射来成像的仪器。散射角的大小与样品的密度、厚度密切相关,从而形成明暗不同的影像。这些影像经过放大、聚焦后,可在成像器件(如荧光屏、胶片、感光耦合组件等)上显示出来。
由于电子的德布罗意波长极短,透射电子显微镜的分辨率远高于光学显微镜,可达到0.1 - 0.2纳米,放大倍数可达几万至百万倍。这使得透射电镜能够观察样品的精细结构,甚至能观察到单列原子的结构,其观察到的最小结构比光学显微镜小数万倍。
️应用特点
透射电子显微镜的应用具有诸多显著特点。通过其荧光屏,我们可以几乎瞬时地观察到样品的图像或衍射花样。在观察过程中,我们能够实时改变样品的位置及方向,以便快速找到感兴趣的区域和方向。一旦获取所需的图像,可采用相机照相的方式记录下来。
️主要功能
️1. 一般形貌观察
可对样品的外观形态进行直观观察,为后续研究提供基础信息。
️2. 物相分析
️利用电子衍射、微区电子衍射、会聚束电子衍射等技术,确定材料的物相、晶系,甚至空间群,从而深入了解材料的晶体结构和组成。
️3. 晶体结构确定
借助高分辨电子显微术,能够直接观察晶体中原子或原子团在特定方向上的结构投影。对于不同尺寸的物体,可根据其大小选择合适的电镜类型:大于100纳米的物体可用低压、低分辨电镜观察;100纳米至10纳米之间的物体用高压、低分辨电镜勉强可见;小于10纳米的物体则必须选用高压、高分辨电镜进行观察。
️4. 结构缺陷观察
通过衍衬像和高分辨电子显微像技术,可观察晶体中存在的结构缺陷,确定缺陷的种类并估算缺陷密度。
️对于不同类型的缺陷观察,可选择不同类型的电镜:界面观察选用低压、低分辨电镜;位错观察可用高压、低分辨电镜,选用高压、高分辨电镜效果更佳;层错观察则需选用高压、高分辨电镜。传统的典位错观察方法是金相腐蚀法,通过腐蚀使位错露头形成“蚀坑”,但这种方法是间接观察,效果较差。相比之下,高压、低分辨透射电镜可以直接观察位错,效果较好;而高压、高分辨透射电镜的观察效果更佳。
️5. 微区化学成分分析
利用透射电镜附加的能量色散X射线谱仪或电子能量损失谱仪,能够对样品的微区化学成分进行精确分析,为研究材料的成分分布和化学性质提供重要依据。
️6. 元素分布分析
借助带有扫描附件和能量色散X射线谱仪的透射电镜,或者利用带有图像过滤器的透射电镜,可以对样品中的元素分布进行分析,确定样品中是否存在成分偏析,这对于研究材料的微观结构与性能之间的关系具有重要意义。