为什么选择Alpha W260推拉力测试机进行JEDEC球形剪切测试?
在半导体封装工艺中,焊球(Solder Ball)的可靠性直接影响芯片的性能和寿命。为确保焊球的机械强度符合要求,球形剪切测试(Ball Shear Test) 成为关键的质量检测手段之一。科准测控依据 JEDEC JESD22-B116 标准,采用 Alpha W260 推拉力测试机进行高精度测试,评估焊球的剪切强度,为半导体封装工艺提供可靠的数据支持。
本文将详细介绍球形剪切测试的原理、标准、仪器设备及测试流程,帮助行业同仁更好地理解和应用该测试方法。
一、测试原理
球形剪切测试是通过施加水平剪切力,使焊球在基板或芯片表面发生断裂,从而测量其最大剪切力(Shear Force) 和失效模式(Failure Mode)。测试过程中,推刀(Shear Tool)以恒定速度推动焊球,直至其脱落或断裂。通过分析剪切力曲线,可以评估焊球的焊接质量、界面结合强度以及可能存在的工艺缺陷(如虚焊、脆性断裂等)。
关键参数:
剪切力(Shear Force):焊球被剪断时的最大力值(单位:gf 或 N)。
剪切高度(Shear Height):推刀距离基板的高度(通常为焊球高度的25%)。
失效模式:包括焊球断裂、界面剥离、基板损伤等。
二、测试标准(JEDEC JESD22-B116)
JEDEC JESD22-B116 是半导体行业广泛采用的焊球剪切测试标准,规定了测试条件、设备要求和数据分析方法。
主要要求:
剪切速度:通常为 100-500 μm/s,具体取决于焊球尺寸和材料。
剪切高度:推刀距离基板的高度为焊球高度的 20%-30%(避免基板干扰)。
测试环境:常温(25°C)或高温(如 150°C、260°C)下进行,以模拟实际应用条件。
数据记录:需记录最大剪切力、位移曲线及失效模式。
三、测试仪器
1、Alpha W260 推拉力测试机
Alpha W260 是一款高精度推拉力测试机,专为半导体封装焊球剪切、引线键合拉力测试等设计,具有高分辨率力和位移传感器,确保测试数据的准确性。
仪器特点:
多轴运动控制:X/Y/Z三轴精密定位
智能测试软件:支持自动测试、数据统计和CPK分析
仪器配备专用剪切夹具,可实现对焊球的非破坏性和破坏性测试。
高精度光学定位系统,确保测试位置准确性。
2、常用剪切工具
3、工装夹具
四、测试流程
步骤一、样品准备
将待测芯片或基板固定在测试台上,确保焊球处于水平位置。
使用显微镜调整推刀位置,使其对准焊球边缘。
步骤二、参数设置
根据 JESD22-B116 设置剪切高度(如焊球高度的25%)。
设定剪切速度(如 200 μm/s)。
步骤三、执行测试
启动设备,推刀以恒定速度推动焊球,直至其断裂。
系统自动记录最大剪切力和位移曲线。
步骤四、数据分析
检查剪切力是否在合格范围内(如 ≥ 标准要求的最小值)。
观察失效模式(理想情况为焊球内部断裂,而非界面剥离)。
步骤五、报告生成
导出测试数据,生成包含剪切力、失效模式和统计分析的报告。
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